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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>淺談半導(dǎo)體制造中的刻蝕工藝

淺談半導(dǎo)體制造中的刻蝕工藝

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2021-02-08 10:53:006590

揭秘半導(dǎo)體制造全流程(中篇)

本期,我們將繼續(xù)探索半導(dǎo)體制造過程中的兩大關(guān)鍵步驟:刻蝕和薄膜沉積。
2022-08-01 10:58:184517

半導(dǎo)體制造工藝之BiCMOS技術(shù)

目前為止,在日常生活中使用的每一個(gè)電氣和電子設(shè)備中,都是由利用半導(dǎo)體器件制造工藝制造的集成電路組成。電子電路是在由純半導(dǎo)體材料(例如硅和其他半導(dǎo)體化合物)組成的晶片上創(chuàng)建的,其中包括光刻和化學(xué)工藝的多個(gè)步驟。
2022-09-22 16:04:441861

半導(dǎo)體制造之等離子工藝

等離子體工藝廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中。比如,IC制造中的所有圖形化刻蝕均為等離子體刻蝕或干法刻蝕,等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積(PECVD)和高密度等離子體化學(xué)氣相沉積 (HDP CVD)廣泛用于電介質(zhì)
2022-11-15 09:57:312626

半導(dǎo)體制造刻蝕工藝詳解

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2023-02-13 11:13:235905

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2023-08-10 15:06:10506

芯片制造刻蝕工藝科普

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2023-09-24 17:42:03996

半導(dǎo)體制造:跟隨還是超越摩爾定律

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2011-09-30 09:16:231715

揭秘半導(dǎo)體制造全流程(下篇)

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2021-08-02 13:49:0416085

2020年半導(dǎo)體制造工藝技術(shù)前瞻

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半導(dǎo)體工藝技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)是什么?

)、氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)、雙極硅、絕緣硅(SoI)和藍(lán)寶石硅(SoS)等工藝技術(shù)給業(yè)界提供了豐富的選擇。雖然半導(dǎo)體器件的集成度越來越高,但分立器件同樣在用這些工藝制造。隨著全球電信網(wǎng)絡(luò)向長(zhǎng)期
2019-08-20 08:01:20

半導(dǎo)體刻蝕工藝

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2021-02-05 09:41:23

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半導(dǎo)體制冷—— 2 1 世紀(jì)的綠色“冷源”唐春暉(上海理工大學(xué)光學(xué)與電子信息工程學(xué)院,上海 200093)摘要:基于節(jié)能和環(huán)保已是當(dāng)今一切科技發(fā)展進(jìn)步的基本要求,對(duì)半導(dǎo)體制冷技術(shù)原理以及應(yīng)用情況做了
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半導(dǎo)體制冷效率問題??!

大家有沒有用過半導(dǎo)體制冷的,我現(xiàn)在選了一種制冷片,72W的,我要對(duì)一個(gè)2.5W的熱負(fù)載空間(100x100x100mm)降溫,用了兩片,在環(huán)溫60度時(shí)熱負(fù)載所處的空間只降到30度,我采用的時(shí)泡沫膠
2012-08-15 20:07:10

半導(dǎo)體制冷有什么優(yōu)缺點(diǎn)?

半導(dǎo)體制冷的機(jī)理主要是電荷載體在不同的材料中處于不同的能量級(jí),在外電場(chǎng)的作用下,電荷載體從高能級(jí)的材料向低能級(jí)的材料運(yùn)動(dòng)時(shí),便會(huì)釋放出多余的能量。
2020-04-03 09:02:14

半導(dǎo)體制冷片的工作原理是什么?

半導(dǎo)體制冷片是利用半導(dǎo)體材料的Peltier效應(yīng)而制作的電子元件,當(dāng)直流電通過兩種不同半導(dǎo)體材料串聯(lián)成的電偶時(shí),在電偶的兩端即可分別吸收熱量和放出熱量,可以實(shí)現(xiàn)制冷的目的。它是一種產(chǎn)生負(fù)熱阻的制冷技術(shù),其特點(diǎn)是無運(yùn)動(dòng)部件,可靠性也比較高。半導(dǎo)體制冷片的工作原理是什么?半導(dǎo)體制冷片有哪些優(yōu)缺點(diǎn)?
2021-02-24 09:24:02

半導(dǎo)體制

制造方法,其實(shí)歸根究底,就是在矽半導(dǎo)體制造電子元器件,電子元器件包括很多品種:整流橋,二極管,電容等各種IC類,更復(fù)雜的還有整流模塊等等。ASEMI半導(dǎo)體的每一個(gè)電子元器件的完成都是由精密復(fù)雜
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半導(dǎo)體制造

制造半導(dǎo)體器件時(shí),為什么先將導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體和絕緣體之間的硅或鍺制成本征半導(dǎo)體,使之導(dǎo)電性極差,然后再用擴(kuò)散工藝在本征半導(dǎo)體摻入雜質(zhì)形成N型半導(dǎo)體或P型半導(dǎo)體改善其導(dǎo)電性?
2012-07-11 20:23:15

半導(dǎo)體制造企業(yè)未來分析

們的投入,80%的開支會(huì)用于先進(jìn)產(chǎn)能擴(kuò)增,包括7nm、5nm及3nm,另外20%主要用于先進(jìn)封裝及特殊制程。而先進(jìn)工藝中所用到的EUV極紫外光刻機(jī),一臺(tái)設(shè)備的單價(jià)就可以達(dá)到1.2億美元,可見半導(dǎo)體
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半導(dǎo)體制造技術(shù)經(jīng)典教程(英文版)

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半導(dǎo)體制造的難點(diǎn)匯總

。例如實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造設(shè)備、晶圓加工流程的自動(dòng)化,目的是大幅度減少工藝的操作者,因?yàn)槿耸莾艋g中的主要沾污源。由于芯片快速向超大規(guī)模集成電路發(fā)展,芯片設(shè)計(jì)方法變化、特征尺寸減小。這些變化向工藝制造提出挑戰(zhàn)
2020-09-02 18:02:47

半導(dǎo)體制造車間的環(huán)境與生產(chǎn)要求以及設(shè)施規(guī)劃

傷害員工、污染環(huán)境,半導(dǎo)體工廠需要有極為嚴(yán)格的污染防治措施,包括實(shí)時(shí)處理工作場(chǎng)所的空氣、妥善處理生產(chǎn)廢料等等。在半導(dǎo)體制造業(yè),由于其昂貴設(shè)備的敏感性和制造過程的復(fù)雜性,工廠的布局變得不可以輕易更改
2020-09-24 15:17:16

SPC在半導(dǎo)體半導(dǎo)體晶圓廠的實(shí)際應(yīng)用

控制;控制圖 圖分類號(hào):TN301 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼: A 文章編號(hào):1003-353X(2004)03-0058-03 1 前言 近年來,半導(dǎo)體制造技術(shù)經(jīng)歷了快速的改變,技術(shù)的提升也相對(duì)地增加了工藝過程
2018-08-29 10:28:14

半導(dǎo)體制造工藝》學(xué)習(xí)筆記

`《半導(dǎo)體制造工藝》學(xué)習(xí)筆記`
2012-08-20 19:40:32

《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》DI-O3水在晶圓表面制備的應(yīng)用

的試劑,無論是單獨(dú)工作還是與其他化學(xué)品混合,對(duì)于半導(dǎo)體制造的濕法清洗工藝。通過適當(dāng)?shù)膽?yīng)用,它可以避免使用一些需要在高溫下操作的高腐蝕性化學(xué)品,從而減少 CoO,包括化學(xué)品費(fèi)用、沖洗水量、安全問題
2021-07-06 09:36:27

《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》IC制造工藝

`書籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》文章:IC制造工藝編號(hào):JFSJ-21-046作者:炬豐科技網(wǎng)址:http://www.wetsemi.com/index.html摘要:集成電路的制造主要包括以下工藝
2021-07-08 13:13:06

【新加坡】知名半導(dǎo)體晶圓代工廠招聘資深刻蝕工藝工程師和刻蝕設(shè)備主管!

新加坡知名半導(dǎo)體晶圓代工廠招聘資深刻蝕工藝工程師和刻蝕設(shè)備主管!此職位為內(nèi)部推薦,深刻蝕工藝工程師需要有LAM 8寸機(jī)臺(tái)poly刻蝕經(jīng)驗(yàn)。刻蝕設(shè)備主管需要熟悉LAM8寸機(jī)臺(tái)。待遇優(yōu)厚。有興趣的朋友可以將簡(jiǎn)歷發(fā)到我的郵箱sternice81@gmail.com,我會(huì)轉(zhuǎn)發(fā)給HR。
2017-04-29 14:23:25

主流的射頻半導(dǎo)體制造工藝介紹

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從7nm到5nm,半導(dǎo)體制程 精選資料分享

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求大神解答,半導(dǎo)體制冷片的正負(fù)極能反接嗎,如果可以,那原來的制冷面是不是可變成散熱面而原來的散熱面變成制冷面??
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單片機(jī)晶圓制造工藝及設(shè)備詳解

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振奮!半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)5納米刻蝕機(jī)助力中國(guó)芯

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蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司招賢納士

刻蝕工藝以滿足工藝集成要求; 3、 與其他工程師緊密配合,進(jìn)行半導(dǎo)體工藝流程分析 任職要求: 1、大學(xué)本科學(xué)歷(含)以上 2、掌握半導(dǎo)體基礎(chǔ)理論,制品及器件技術(shù),熟悉設(shè)備 、工藝 、 制造等相關(guān)內(nèi)容
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制造工藝半導(dǎo)體制造集成電路工藝
電子技術(shù)那些事兒發(fā)布于 2022-10-15 15:42:03

#半導(dǎo)體制造工藝 HNA浴硅的各向同性濕法腐蝕 (續(xù))

制造工藝半導(dǎo)體制造集成電路工藝
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#半導(dǎo)體制造工藝 堿性溶液硅的各向異性濕法腐蝕第1部分

制造工藝半導(dǎo)體制造集成電路工藝
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#半導(dǎo)體制造工藝 堿性溶液硅的各向異性濕法腐蝕第2部分

制造工藝半導(dǎo)體制造集成電路工藝
電子技術(shù)那些事兒發(fā)布于 2022-10-15 15:46:21

#半導(dǎo)體制造工藝 光學(xué)表面輪廓測(cè)量

光學(xué)制造工藝半導(dǎo)體制造集成電路工藝
電子技術(shù)那些事兒發(fā)布于 2022-10-15 15:51:03

#半導(dǎo)體制造工藝 機(jī)械表面輪廓測(cè)量

IC設(shè)計(jì)制造工藝半導(dǎo)體制造
電子技術(shù)那些事兒發(fā)布于 2022-10-15 15:52:01

#半導(dǎo)體制造工藝 聚焦離子束:局部截面檢查和測(cè)量

IC設(shè)計(jì)制造工藝半導(dǎo)體制造
電子技術(shù)那些事兒發(fā)布于 2022-10-15 15:55:00

#半導(dǎo)體制造工藝 電氣特性

IC設(shè)計(jì)制造工藝半導(dǎo)體制造
電子技術(shù)那些事兒發(fā)布于 2022-10-15 15:55:45

華虹半導(dǎo)體和宏力半導(dǎo)體制造公司完成合并

中國(guó)半導(dǎo)體制造行業(yè)的兩大企業(yè),華虹半導(dǎo)體有限公司(簡(jiǎn)稱“華虹”)和宏力半導(dǎo)體制造公司(簡(jiǎn)稱“宏力”)于29日聯(lián)合宣布雙方已完成了合并交易。
2011-12-30 08:58:501867

半導(dǎo)體制造刻蝕設(shè)備調(diào)度算法的研究_賈小恒

半導(dǎo)體制造刻蝕設(shè)備調(diào)度算法的研究_賈小恒
2017-03-19 11:28:162

半導(dǎo)體制作工藝CH

半導(dǎo)體制作工藝CH
2017-10-18 10:19:4747

半導(dǎo)體制造工藝中的主要設(shè)備及材料大盤點(diǎn)

本文首先介紹了半導(dǎo)體制造工藝流程及其需要的設(shè)備和材料,其次闡述了IC晶圓生產(chǎn)線的7個(gè)主要生產(chǎn)區(qū)域及所需設(shè)備和材料,最后詳細(xì)的介紹了半導(dǎo)體制造工藝,具體的跟隨小編一起來了解一下。
2018-05-23 17:32:3169224

半導(dǎo)體制造工藝流程及其需要的設(shè)備和材料

本文首先介紹了半導(dǎo)體制造工藝流程及其需要的設(shè)備和材料,其次闡述了IC晶圓生產(chǎn)線的7個(gè)主要生產(chǎn)區(qū)域及所需設(shè)備和材料,最后詳細(xì)的介紹了半導(dǎo)體制造工藝,具體的跟隨小編一起來了解一下。 一、半導(dǎo)體制造
2018-09-04 14:03:026592

半導(dǎo)體制造工藝教程的詳細(xì)資料免費(fèi)下載

本文檔的主要內(nèi)容詳細(xì)介紹的是半導(dǎo)體制造工藝教程的詳細(xì)資料免費(fèi)下載主要內(nèi)容包括了:1.1 引言 1.2基本半導(dǎo)體元器件結(jié)構(gòu) 1.3半導(dǎo)體器件工藝的發(fā)展歷史 1.4集成電路制造階段 1.5半導(dǎo)體制造企業(yè) 1.6基本的半導(dǎo)體材料 1.7 半導(dǎo)體制造中使用的化學(xué)品 1.8芯片制造的生產(chǎn)環(huán)境
2018-11-19 08:00:00200

半導(dǎo)體制造教程之工藝晶體的生長(zhǎng)資料概述

本文檔的主要內(nèi)容詳細(xì)介紹的是半導(dǎo)體制造教程之工藝晶體的生長(zhǎng)資料概述 一、襯底材料的類型1.元素半導(dǎo)體 Si、Ge…。2. 化合物半導(dǎo)體 GaAs、SiC 、GaN…
2018-11-19 08:00:0040

泛林集團(tuán)攜旗下前沿半導(dǎo)體制造工藝與技術(shù)亮相SEMICONChina2019

上?!?月20-22日,全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備及服務(wù)供應(yīng)商泛林集團(tuán)攜旗下前沿半導(dǎo)體制造工藝與技術(shù)亮相SEMICON China 2019,并分享其對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的深刻見解與洞察。作為中國(guó)半導(dǎo)體
2019-03-21 16:57:463815

半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)PDF電子書免費(fèi)下載

。第四章和第五章分別討論了光刻和刻蝕技術(shù)。第六章和第七章介紹半導(dǎo)體摻雜的主要技術(shù);擴(kuò)散法和離子注入法。第八章涉及一些相對(duì)獨(dú)立的工藝步驟,包括各種薄層淀積的方法?!?b class="flag-6" style="color: red">半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)》最后三章集中討論制版和綜合。
2020-03-09 08:00:00229

中微半導(dǎo)體5nm刻蝕機(jī)成功打入臺(tái)積電生產(chǎn)線

刻蝕半導(dǎo)體制造中十分關(guān)鍵的一環(huán),刻蝕通過物理或化學(xué)方法將硅片表面不需要的材料去除,從而將掩膜圖形正確的復(fù)制到涂膠硅片上。
2021-02-23 16:41:573382

MEMS工藝——半導(dǎo)體制造技術(shù)

MEMS工藝——半導(dǎo)體制造技術(shù)說明。
2021-04-08 09:30:41237

兩種標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造工藝介紹

標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造工藝可以大致分為兩種工藝。一種是在襯底(晶圓)表面形成電路的工藝,稱為“前端工藝”。另一種是將形成電路的基板切割成小管芯并將它們放入封裝的過程,稱為“后端工藝”或封裝工藝。在半導(dǎo)體制造
2022-03-14 16:11:136771

半導(dǎo)體制造CMP工藝后的清洗技術(shù)

半導(dǎo)體芯片的結(jié)構(gòu)也變得復(fù)雜,包括從微粉化一邊倒到三維化,半導(dǎo)體制造工藝也變得多樣化。其中使用的材料也被迫發(fā)生變化,用于制造半導(dǎo)體器件和材料的技術(shù)革新還沒有停止。為了解決作為半導(dǎo)體制造工藝之一的CMP
2022-03-21 13:39:083886

干法刻蝕工藝介紹

刻蝕半導(dǎo)體IC制造中的至關(guān)重要的一道工藝,一般有干法刻蝕和濕法刻蝕兩種,干法刻蝕和濕法刻蝕一個(gè)顯著的區(qū)別是各向異性,更適合用于對(duì)形貌要求較高的工藝步驟。
2022-06-13 14:43:316

探秘半導(dǎo)體制造中單片式清洗設(shè)備

達(dá)到的水準(zhǔn),因此單片式刻蝕、清洗設(shè)備開始在半導(dǎo)體制造過程中發(fā)揮越來越大的作用。 ? 在全自動(dòng)單片清洗設(shè)備中,由于大而薄的硅片對(duì)夾緊力較為敏感,再加上硅片的翹曲率不同,因此對(duì)于硅片的抓取、傳輸提出了更高的要求。
2022-08-15 17:01:354061

半導(dǎo)體制造工藝中的UV-LED解決方案

針對(duì)半導(dǎo)體制造工藝的UV-LED光源需求,虹科提供高功率的紫外光源解決方案,可適配步進(jìn)器和掩膜版設(shè)備,更換傳統(tǒng)工具中的傳統(tǒng)燈箱,實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的半導(dǎo)體質(zhì)量控制。
2023-03-29 10:35:41712

金屬布線的工藝半導(dǎo)體注入生命的連接

經(jīng)過氧化、光刻、刻蝕、沉積等工藝,晶圓表面會(huì)形成各種半導(dǎo)體元件。半導(dǎo)體制造商會(huì)讓晶圓表面布滿晶體管和電容(Capacitor);
2023-04-28 10:04:52532

SiC賦能更為智能的半導(dǎo)體制造/工藝電源

半導(dǎo)體器件的制造流程包含數(shù)個(gè)截然不同的精密步驟。無論是前道工藝還是后道工藝,半導(dǎo)體制造設(shè)備的電源都非常重要。
2023-05-19 15:39:04479

半導(dǎo)體前端工藝刻蝕——有選擇性地刻蝕材料,以創(chuàng)建所需圖形

半導(dǎo)體制工藝中,有很多不同名稱的用于移除多余材料的工藝,如“清洗”、“刻蝕”等。如果說“清洗”工藝是把整張晶圓上多余的不純物去除掉,“刻蝕工藝則是在光刻膠的幫助下有選擇性地移除不需要的材料,從而創(chuàng)建所需的微細(xì)圖案。半導(dǎo)體刻蝕工藝所采用的氣體和設(shè)備,在其他類似工藝中也很常見。
2023-06-15 17:51:571181

半導(dǎo)體圖案化工藝流程之刻蝕(一)

Dimension, CD)小型化(2D視角),刻蝕工藝從濕法刻蝕轉(zhuǎn)為干法刻蝕,因此所需的設(shè)備和工藝更加復(fù)雜。由于積極采用3D單元堆疊方法,刻蝕工藝的核心性能指數(shù)出現(xiàn)波動(dòng),從而刻蝕工藝與光刻工藝成為半導(dǎo)體制造的重要工藝流程之一。
2023-06-26 09:20:10816

半導(dǎo)體前端工藝之沉積工藝

在前幾篇文章(點(diǎn)擊查看),我們一直在借用餅干烘焙過程來形象地說明半導(dǎo)體制程 。在上一篇我們說到,為制作巧克力夾心,需通過“刻蝕工藝”挖出餅干的中間部分,然后倒入巧克力糖漿,再蓋上一層餅干層?!暗谷肭煽肆μ菨{”和“蓋上餅干層”的過程在半導(dǎo)體制程中就相當(dāng)于“沉積工藝”。
2023-06-29 16:56:17830

ALD是什么?半導(dǎo)體制造的基本流程

半導(dǎo)體制造過程中,每個(gè)半導(dǎo)體元件的產(chǎn)品都需要經(jīng)過數(shù)百道工序。這些工序包括前道工藝和后道工藝,前道工藝是整個(gè)制造過程中最為重要的部分,它關(guān)系到半導(dǎo)體芯片的基本結(jié)構(gòu)和特性的形成,涉及晶圓制造、沉積、光刻、刻蝕等步驟,技術(shù)難點(diǎn)多,操作復(fù)雜。
2023-07-11 11:25:552902

半導(dǎo)體制造工藝之光刻工藝詳解

半導(dǎo)體制造工藝之光刻工藝詳解
2023-08-24 10:38:541223

半導(dǎo)體制造背后的藝術(shù):從硅塊到芯片的旅程

半導(dǎo)體制造是現(xiàn)代微電子技術(shù)的核心,涉及一系列精細(xì)、復(fù)雜的工藝步驟。下面我們將詳細(xì)解析半導(dǎo)體制造的八大關(guān)鍵步驟:
2023-09-22 09:05:191720

半導(dǎo)體前端工藝(第四篇):刻蝕——有選擇性地刻蝕材料,以創(chuàng)建所需圖形

半導(dǎo)體前端工藝(第四篇):刻蝕——有選擇性地刻蝕材料,以創(chuàng)建所需圖形
2023-11-27 16:54:26256

[半導(dǎo)體前端工藝:第二篇] 半導(dǎo)體制工藝概覽與氧化

[半導(dǎo)體前端工藝:第二篇] 半導(dǎo)體制工藝概覽與氧化
2023-11-29 15:14:34541

半導(dǎo)體制造技術(shù)之刻蝕工藝

W刻蝕工藝中使用SF6作為主刻步氣體,并通過加入N2以增加對(duì)光刻膠的選擇比,加入O2減少碳沉積。在W回刻工藝中分為兩步,第一步是快速均勻地刻掉大部分W,第二步則降低刻蝕速率減弱負(fù)載效應(yīng),避免產(chǎn)生凹坑,并使用對(duì)TiN有高選擇比的化學(xué)氣體進(jìn)行刻蝕
2023-12-06 09:38:531538

使用壓力傳感器優(yōu)化半導(dǎo)體制造工藝

如今,半導(dǎo)體制造工藝快速發(fā)展,每一代新技術(shù)都在減小集成電路(IC)上各層特征的間距和尺寸。晶圓上高密度的電路需要更高的精度以及高度脆弱的先進(jìn)制造工藝。
2023-12-25 14:50:47174

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