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季豐電子半導體測試機和探針臺設備介紹

上海季豐電子 ? 來源:上海季豐電子 ? 2025-04-30 15:39 ? 次閱讀

半導體測試設備系統(tǒng)大致包括以下兩部分:半導體測試機和探針臺。

其中,前者負責測試晶圓器件參數(shù)(如IV,CV,Vt,Ion/Ioff等),或者可靠性(如HCI,NBTI,TDDB等)測試,通常稱作半導體測試儀,簡稱“半測儀”。

而后者是由晶圓承載臺及其配套設備,如馬達步進驅(qū)動,針座/針卡等構(gòu)成為晶圓測試提供測試支持的設備系統(tǒng),通常稱作“探針臺”。探針臺根據(jù)測試自動化程度不同,分為這樣三種分類:手動探針臺,半自動探針臺,全自動探針臺。

下面介紹季豐電子的半測儀和探針臺設備。

半測儀設備介紹:

Keysight B1500:

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B1500半導體參數(shù)分析儀是一款一體化器件表征分析儀,能夠測量表征大多數(shù)電子器件、材料、半導體和有源/無源元器件的主要基本參數(shù)。其電壓電流高精度和穩(wěn)定性經(jīng)過多年口碑沉積,是目前半導體業(yè)界標桿式的測試設備。

Keysight B1500 配置 性能
數(shù)量:1套 4個DC SMU測試模塊:
(1HPSMU, 3HRSMU)
Max Voltage :
HRSMU+/-100V;
HPSMU+/-200V
Voltage Resolution :0.5uV
Max. Current: +/-100mA
Current Resolution :1fA

概倫FS-PRO

FS-Pro 半導體參數(shù)測試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導體器件電學特性分析設備,在一個系統(tǒng)中實現(xiàn)了電流電壓 (IV)測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式 IV 測試、任意線性波形發(fā)生與測量、高速時域信號釆集以及低頻噪聲測試能力。

幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測試系統(tǒng)中完成。幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測試系統(tǒng)中完成。其全面而強大的參數(shù)測試分析能力極大地加速了半導體器件與工藝的研發(fā)和評估進程。

概倫FS-
PRO
配置 性能
數(shù)量:1套 4HVSMU,
CV Meter,
脈沖PGU
High Speed SMU
Max Voltage:
HVSMU+/-200V
Voltage Resolution :0.5uV
Max Current: +/-100mA
Current Resolution :1fA
CV Frequency: 20~2MHz
Min. Sampling time: <10ns

Keysight WAT 4082F

Keysight是德科技WAT 4082是目前業(yè)界主流WAT測試機,其一貫精確和穩(wěn)定的性能有口皆碑。季豐電子和Keysight是德科技開展戰(zhàn)略合作,已引入WAT4082測試機。同時購入Accretech AP3000e全自動探針臺,搭配成完整WAT測試系統(tǒng),如上圖所示??蔀榭蛻籼峁┛煽繉I(yè)的WAT相關(guān)測試服務。

Keysight 4082F 配置 性能
數(shù)量:1套 1HPSMU,
5MPSMU,
CV Meter
脈沖PGU,
DVM
Max Voltage:
MPSMU+/-100V;
HPSMU+/-200V
Voltage Resolution :0.5uV
Max Current: +/-100mA
Current Resolution :10fA
CV Frequency: 1K~1MHz

另外季豐電子也可以為客戶提供標準或定制所需全自動各類WAT針卡的服務。

探針臺設備介紹:

半自動探針臺Formfactor CM300

CM300探針臺是一款優(yōu)秀的晶圓測試支持平臺,可應對極其復雜的環(huán)境帶來的測量挑戰(zhàn),支持8寸和12寸晶圓。其可以靈活穩(wěn)定完成DC、AC 和 RF微波器件特性、WLR等測試任務。該探針臺設備可以隨意搭配B1500或概倫FS-PRO半測儀設備。

Formfactor CM300 配置 性能
數(shù)量:1套
支持搭配B1500
或概倫FS-PRO
6個針座,包含6根高溫DCP刀片針 支持8/12寸晶圓
單片晶圓全自動跳die
測試溫度范圍:
60~300C

全自動探針臺Accrotech (TSK)

AP3000e

d77da8ec-2350-11f0-9310-92fbcf53809c.png

全自動探針臺Accrotech (TSK)AP3000e是高精度、高效率(index移動、晶圓搬送、晶圓對齊)、低震動、低噪音、新一代高性能探針臺。其能力足夠覆蓋大部分半導體器件驗證測試項目。

同時,由于高低溫(-50~150°C)晶圓全自動探針臺的自動対針換片功能的使用,使得多片晶圓和多測試結(jié)構(gòu)的測試效率較之半自動探針臺均有顯著提升。

Accrotech
(TSK)
AP3000e
配置 性能
數(shù)量:2臺
1臺搭配
WAT4082
1臺搭配B1500
或概倫FS-PRO
支持4070/4080規(guī)格
Probe-Card
針卡或4.5英寸方卡;
支持8/12寸晶圓測試
全自動跳die和load
測試溫度范圍:
-40~150C

特別聲明,以上測試設備所提供的測試服務均是非量產(chǎn)測試,客戶如需ATE量產(chǎn)CP/FT測試,可以安排在季豐電子的嘉善測試基地執(zhí)行。

季豐電子

季豐電子成立于2008年,是一家聚焦半導體領(lǐng)域,深耕集成電路檢測相關(guān)的軟硬件研發(fā)及技術(shù)服務的賦能型平臺科技公司。公司業(yè)務分為四大板塊,分別為基礎實驗室、軟硬件開發(fā)、測試封裝和儀器設備,可為芯片設計、晶圓制造封裝測試、材料裝備等半導體產(chǎn)業(yè)鏈和新能源領(lǐng)域公司提供一站式的檢測分析解決方案。

季豐電子通過國家級專精特新“小巨人”、國家高新技術(shù)企業(yè)、上海市“科技小巨人”、上海市企業(yè)技術(shù)中心、研發(fā)機構(gòu)、公共服務平臺等企業(yè)資質(zhì)認定,通過了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等認證。公司員工超1000人,總部位于上海,在浙江、北京、深圳、成都等地設有子公司。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
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原文標題:靈活多樣的半導體測試設備助力季豐電子晶圓測試

文章出處:【微信號:zzz9970814,微信公眾號:上海季豐電子】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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