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標(biāo)簽 > 光刻

光刻

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光刻是平面型晶體管和集成電路生產(chǎn)中的一個主要工藝。是對半導(dǎo)體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進(jìn)行開孔,以便進(jìn)行雜質(zhì)的定域擴(kuò)散的一種加工技術(shù)。

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光刻技術(shù)

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2022-07-26 標(biāo)簽:光刻硅片涂層 1006 0

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2024-10-31 標(biāo)簽:晶圓工藝光刻 990 0

一文解析IMEC 發(fā)布芯片縮放路線圖

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2023-02-07 標(biāo)簽:晶體管光刻半導(dǎo)體設(shè)備 965 0

CLL技術(shù)應(yīng)用于新材料和系統(tǒng)的制造和研究

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2022-06-28 標(biāo)簽:半導(dǎo)體光刻蝕刻 964 0

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再見鏡頭,你好超表面。所謂的超表面可以幫助使光學(xué)系統(tǒng)在未來變得更薄,同時增加其功能。 到目前為止,傳統(tǒng)的制造工藝通常只能實現(xiàn)小的超表面,通常小于一平方毫...

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2022-07-19 標(biāo)簽:封裝光刻TSV 926 0

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近年來,光掩??刮g劑剝離和清潔技術(shù)的發(fā)展主要是由于行業(yè)需要通過從這些過程中消除硫酸和氫氧化銨來防止表面霧霾的形成。因此,傳統(tǒng)的 SPM (H2SO4 +...

2022-03-30 標(biāo)簽:工藝參數(shù)光刻 894 0

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集成光信號分配、處理和傳感網(wǎng)絡(luò)需要小型化基本光學(xué)元件,如波導(dǎo)、分光器、光柵和光開關(guān)。為了實現(xiàn)這一目標(biāo),需要能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率制造的方法。

2023-12-04 標(biāo)簽:mems高分辨率光刻 892 0

頂層金屬工藝是指什么

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2024-10-29 標(biāo)簽:晶圓工藝光刻 841 0

金屬層2工藝是什么

金屬層2工藝是什么

金屬層2(M2)工藝與金屬層1工藝類似。金屬層2工藝是指形成第二層金屬互連線,金屬互連線的目的是實現(xiàn)把第一層金屬或者第三層金屬連接起來。

2024-10-24 標(biāo)簽:晶圓工藝光刻 837 0

激光指向穩(wěn)定在光刻系統(tǒng)應(yīng)用中的關(guān)鍵作用及其優(yōu)化方案

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光刻是半導(dǎo)體制造工藝中的核心之一,極紫外光刻技術(shù)作為新一代光刻技術(shù)也處于快速發(fā)展階段。其基本原理是利用光致抗蝕劑(或稱光刻膠)感光后因光化學(xué)反應(yīng)而形成耐...

2024-06-27 標(biāo)簽:芯片半導(dǎo)體激光 822 0

用于3D封裝的穿硅通過最后光刻的覆蓋性能(下)

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本研究通過檢查 TSV 光刻后的 DSA 光學(xué)計量可重復(fù)性,然后將該光學(xué)配準(zhǔn)數(shù)據(jù)與最終的電氣配準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較,來仔細(xì)檢查圖像放置性能。

2022-07-19 標(biāo)簽:封裝光刻TSV 797 0

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短波長透明光學(xué)元件的缺乏限制了深紫外光刻中的可用波長,而晶片上所需的最小特征繼續(xù)向更深的亞波長尺度收縮。這對用入射場代替掩模開口上的場的基爾霍夫邊界條件...

2023-08-25 標(biāo)簽:光刻掩模 743 0

光刻技術(shù)的發(fā)展如何彎道超車或者換道超車

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三十年來,半導(dǎo)體掩模技術(shù)基本保持不變,掩模的制作是在可變成形機(jī)上進(jìn)行的,這些機(jī)器將可變元件限制在 45 度角。隨著功能縮小并變得更加復(fù)雜,電子束和多束掩...

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電子束曝光與顯影工藝解讀

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EBL就像是納米世界里的精密畫筆,能夠在極其微小的尺度上"畫"出任何你想要的二維圖案。

2025-07-09 標(biāo)簽:納米光刻電子束 603 0

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2023-06-14 標(biāo)簽:集成電路光刻微電子 555 0

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作者:Pete Bartolik 投稿人:DigiKey 北美編輯 在半導(dǎo)體芯片銷售額從 2022 年的 6000 億美元增至 2030 年的 1 萬億...

2025-05-25 標(biāo)簽:芯片ADI數(shù)據(jù)采集 243 0

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