在半導(dǎo)體行業(yè)面臨"后摩爾時(shí)代"發(fā)展瓶頸的當(dāng)下，鍵合集成技術(shù)正以顛覆性創(chuàng)新姿態(tài)，推動(dòng)著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局的深刻變革。這項(xiàng)技術(shù)不僅打破了傳統(tǒng)平面縮放的物理極限，更通過異質(zhì)材料融合與三維集成創(chuàng)新，開辟出全新的半導(dǎo)體技術(shù)賽道。

美國(guó)DARPA微系統(tǒng)技術(shù)辦公室主任Mark Rosker曾指出，半導(dǎo)體行業(yè)將很快進(jìn)入由不同材料組合制造器件的時(shí)代，而鍵合技術(shù)正是實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的關(guān)鍵途徑。

作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體鍵合集成技術(shù)企業(yè)，青禾晶元在2025 SEMICON同期舉辦的“領(lǐng)航鍵合未來，智創(chuàng)產(chǎn)業(yè)新局”線下技術(shù)革新分享會(huì)上，展示了其在高端鍵合裝備領(lǐng)域的最新突破。

自主創(chuàng)新，打破海外壟斷
半導(dǎo)體鍵合技術(shù)已是材料集成、芯片制造與封裝過程中至關(guān)重要的核心環(huán)節(jié)，其精度和效率直接關(guān)系到最終芯片的性能表現(xiàn)。

然而，長(zhǎng)期以來，高端鍵合設(shè)備市場(chǎng)一直被少數(shù)海外企業(yè)所壟斷，這使得中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)在獲取先進(jìn)技術(shù)和設(shè)備時(shí)面臨著天價(jià)成本、嚴(yán)格的技術(shù)封鎖以及漫長(zhǎng)的交付周期，這些因素?zé)o疑成為了中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向高端化的巨大障礙。

在分享會(huì)上，青禾晶元?jiǎng)?chuàng)始人兼董事長(zhǎng)母鳳文博士表示：“高端鍵合設(shè)備長(zhǎng)期被海外企業(yè)壟斷，國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程面臨技術(shù)封鎖、成本高昂和交付遲緩等挑戰(zhàn)。青禾晶元堅(jiān)定選擇自主創(chuàng)新，以核心技術(shù)突破行業(yè)壁壘，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供高效、可靠的鍵合解決方案?！?br />
五年來，青禾晶元交出了令人矚目的成績(jī)單：攻克室溫鍵合、3D異構(gòu)集成等"卡脖子"工藝技術(shù)，打造四大核心裝備，覆蓋先進(jìn)封裝、晶圓級(jí)材料集成等前沿領(lǐng)域，2024全年訂單超30臺(tái)等。

母鳳文強(qiáng)調(diào)，破局只是起點(diǎn)，真正的價(jià)值在于賦能行業(yè)，青禾晶元的核心競(jìng)爭(zhēng)力來自三個(gè)關(guān)鍵維度：

“首先，技術(shù)深度決定產(chǎn)業(yè)高度，青禾晶元擁有200余項(xiàng)授權(quán)專利，混合鍵合精度可以優(yōu)于100nm，常溫鍵合、熱壓鍵合等模塊化設(shè)計(jì)能夠滿足多元化需求；其次，相較進(jìn)口設(shè)備，青禾晶元產(chǎn)品具備顯著的價(jià)格優(yōu)勢(shì)，同時(shí)交付周期縮短至6-8個(gè)月，并提供全天候響應(yīng)服務(wù)；最后，生態(tài)共建引領(lǐng)行業(yè)未來，青禾晶元攜手產(chǎn)業(yè)鏈伙伴協(xié)同創(chuàng)新，與頂尖高校共育專業(yè)人才，為行業(yè)持續(xù)注入新鮮血液……”

母鳳文博士指出，半導(dǎo)體是一個(gè)長(zhǎng)周期產(chǎn)業(yè)，而青禾晶元始終以短跑沖刺攻克技術(shù)難關(guān)，以“馬拉松精神”深耕產(chǎn)業(yè)生態(tài)?！皣?guó)產(chǎn)替代只是第一步，我們的愿景是成為全球半導(dǎo)體異質(zhì)集成領(lǐng)域的引領(lǐng)者。未來青禾晶元不僅要讓中國(guó)技術(shù)站上世界舞臺(tái)，更要以創(chuàng)新重新定義鍵合技術(shù)的邊界，為全球客戶提供超越期待的價(jià)值。”他說到。

技術(shù)為先，引領(lǐng)異質(zhì)集成
對(duì)于半導(dǎo)體企業(yè)而言，創(chuàng)新是最核心的發(fā)展動(dòng)力。異質(zhì)集成作為后摩爾時(shí)代的關(guān)鍵技術(shù)方向，具有巨大的發(fā)展?jié)摿?，而青禾晶元希望通過其在鍵合技術(shù)領(lǐng)域的持續(xù)創(chuàng)新，為全球客戶提供更先進(jìn)、更高效的解決方案，從而在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中占據(jù)領(lǐng)先地位。

青禾晶元集團(tuán)副總經(jīng)理譚向虎博士表示，青禾晶元掌握的多項(xiàng)自主可控的核心技術(shù)，是其在半導(dǎo)體異質(zhì)集成領(lǐng)域保持領(lǐng)先地位的關(guān)鍵。

他強(qiáng)調(diào)，依靠這些核心技術(shù)，青禾晶元構(gòu)建了“高端裝備研發(fā)制造+精密鍵合工藝代工”雙輪驅(qū)動(dòng)的業(yè)務(wù)模式，為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供全方位的解決方案。

據(jù)介紹，目前青禾晶元自主研發(fā)了一系列技術(shù)領(lǐng)先的晶圓及芯片鍵合設(shè)備，涵蓋超高真空常溫鍵合（SAB61系列）、親水/混合鍵合（SAB62、SAB82系列）、熱壓/陽極鍵合（SAB63系列）、臨時(shí)鍵合/解鍵合（SAB64系列）以及高精度TCB鍵合（SAB83系列）等，這些設(shè)備憑借其卓越的對(duì)準(zhǔn)精度（可達(dá)百納米級(jí)）和廣泛的材料兼容性，贏得了市場(chǎng)的廣泛認(rèn)可。此外，還提供了超原子束拋光（SAB9500系列）和膜厚修整設(shè)備（SAB9510系列），以原子級(jí)的精度對(duì)材料表面進(jìn)行精密加工，為高端應(yīng)用提供有力支撐。

除高端鍵合裝備外，青禾晶元提供了專業(yè)化鍵合工藝代工，在天津和山西建立了現(xiàn)代化的鍵合代工量產(chǎn)線，可穩(wěn)定量產(chǎn)包括SiC-SiC、LTOI、LNOI、SiCOI、SOI、Si-SiC等多種關(guān)鍵鍵合襯底，并持續(xù)優(yōu)化工藝，提升良率，滿足客戶日益增長(zhǎng)的需求。

目前集團(tuán)已在國(guó)內(nèi)和海外構(gòu)建了完善的研發(fā)和生產(chǎn)基地，包括天津的一期和二期設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)基地、日本的海外基地，以及天津和山西的鍵合代工量產(chǎn)線。這些設(shè)施配備了先進(jìn)的潔凈間和生產(chǎn)設(shè)備，為集團(tuán)的研發(fā)、生產(chǎn)和全球化發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

譚向虎博士表示：“未來，青禾晶元將繼續(xù)秉承“融合創(chuàng)新、突破邊界”的理念，不斷探索鍵合集成技術(shù)的無限可能，為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展和戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的崛起貢獻(xiàn)卓越力量，共同擘畫更加美好的‘芯’未來?！?br />
鍵合裝備產(chǎn)品矩陣，推動(dòng)鍵合技術(shù)發(fā)展
隨后，青禾晶元的創(chuàng)始人團(tuán)隊(duì)分別就創(chuàng)新型鍵合設(shè)備的技術(shù)亮點(diǎn)與應(yīng)用場(chǎng)景展開分享。

·62HB系列W2W混合鍵合設(shè)備：
采用晶圓翹曲控制技術(shù)，配備多區(qū)獨(dú)立負(fù)壓吸附系統(tǒng)，結(jié)合紅外穿透對(duì)準(zhǔn)可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)于100nm超高鍵合精度；搭載智能化偏移補(bǔ)償技術(shù)，通過高精度檢測(cè)模塊與內(nèi)置算法形成閉環(huán)控制，確保穩(wěn)定的鍵合精度且全程自動(dòng)化；模塊化設(shè)計(jì)集成活化、清洗、IR檢測(cè)及解鍵合等全工藝模塊，專為復(fù)雜變形晶圓的高精度混合鍵合需求打造。

·82系列C2W混合鍵合設(shè)備：
配備自動(dòng)更換夾具系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)0.5×0.5mm至50×50mm全尺寸兼容；通過獨(dú)創(chuàng)邊緣夾持機(jī)構(gòu)配合35μm超薄芯片處理優(yōu)化，避免正面接觸污染；集成片間同軸（最高精度優(yōu)于300nm）與紅外穿透（最高精度優(yōu)于100nm）雙對(duì)準(zhǔn)模式，結(jié)合獨(dú)創(chuàng)從下往上鍵合工藝，降低顆粒污染風(fēng)險(xiǎn)；搭載智能化偏移補(bǔ)償系統(tǒng)，配備高精度檢測(cè)模塊，與內(nèi)置算法形成閉環(huán)控制，確保量產(chǎn)鍵合精度優(yōu)于150nm。

82系列最新推出的全球首款自主研發(fā)8210CWW設(shè)備，采用高度靈活的模塊化設(shè)計(jì)，支持C2W與W2W混合鍵合工藝并行開發(fā)。該設(shè)備集成Wafer/Tapeframe活化模塊、清洗模塊、雙鍵合模式模塊（C2W+W2W）及對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)模塊，并可選配紅外孔洞檢測(cè)與解鍵合模塊。通過共用活化、清洗及檢測(cè)模塊，顯著減少設(shè)備閑置時(shí)間，提升利用率。相較于單獨(dú)采購(gòu)W2W和C2W設(shè)備，該方案可幫助客戶大大降低資金投入和占地面積，同時(shí)縮短研發(fā)轉(zhuǎn)量產(chǎn)周期，實(shí)現(xiàn)工藝開發(fā)效率最大化。

·83系列C2C/C2W倒裝鍵合設(shè)備：
集成了等離子活化模塊和氫自由基活化模塊，支持無需助焊劑的倒裝鍵合（Fluxless TCB）。氫自由基活化技術(shù)可以在180℃下實(shí)現(xiàn)非常強(qiáng)大的還原效果。金屬氧化層被還原后，鍵合溫度可以降低，并且鍵合質(zhì)量可以得到很大提升。設(shè)備鍵合頭能夠在2秒內(nèi)實(shí)現(xiàn)從室溫到400°C的快速升溫，縮短制程時(shí)間。

·61系列超高真空常溫鍵合設(shè)備：
采用自主研發(fā)的離子源對(duì)晶圓表面進(jìn)行離子攻擊，去除表面臟污和氧化物，形成帶有懸掛鍵的高活性表面。之后，在超高真空環(huán)境下進(jìn)行壓合，兩片晶圓的高活性表面快速反應(yīng)，形成牢固的共價(jià)鍵。此外，設(shè)備還支持原位沉積中間過渡層，以實(shí)現(xiàn)對(duì)界面性能的調(diào)控。常溫鍵合無需升降溫，可以降低熱應(yīng)力和潛在缺陷，為異質(zhì)材料融合提供強(qiáng)大的工具支撐。

·62系列親水性晶圓鍵合設(shè)備：
對(duì)表面親水化處理，在室溫環(huán)境下實(shí)現(xiàn)預(yù)鍵合，然后通過退火工藝實(shí)現(xiàn)永久鍵合。設(shè)備通過迭代優(yōu)化的等離子源實(shí)現(xiàn)均勻、高效的表面活化，保證面內(nèi)均勻的鍵合質(zhì)量和強(qiáng)度，應(yīng)用于SOI、LTOI、LNOT等鍵合襯底的批量化生產(chǎn)。還具備針對(duì)cavity晶圓的解決方案，保證高鍵合精度、空腔的高水平真空度與優(yōu)異的密封性能。

·63系列熱壓/陽極鍵合設(shè)備：
溫度均勻性最高達(dá)1.2%，最大壓力達(dá)150kN，壓力均勻性達(dá)3%，鍵合后精度優(yōu)于1.5μm，最快升溫速率45℃/min，優(yōu)異的指標(biāo)可以保證鍵合質(zhì)量和效率的雙提升。半自動(dòng)和全自動(dòng)機(jī)臺(tái)可以滿足從研發(fā)到量產(chǎn)的全流程需求。

·64系列臨時(shí)鍵合&解鍵合設(shè)備：
提供機(jī)械、熱壓和激光三種解鍵合模式，可以應(yīng)用于不同的場(chǎng)景。全自動(dòng)臨時(shí)鍵合設(shè)備SAB 6410TB集成涂膠、固化、對(duì)準(zhǔn)、鍵合，鍵合后TTV優(yōu)于2μm。

·95系列超原子束拋光設(shè)備：
獨(dú)特的超原子束技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)超精密、低損傷、非接觸表面處理，可以應(yīng)用于各種材料的表面拋光，還可以應(yīng)用于膜厚高精度修整，修整后膜厚均勻性可達(dá)1nm以內(nèi)。

結(jié)語
從攻克室溫鍵合、3D異構(gòu)集成等核心工藝的芯片鍵合設(shè)備，到滿足低溫精密需求的常溫晶圓鍵合技術(shù)；從應(yīng)對(duì)特殊需求的熱壓陽極和臨時(shí)鍵合方案，再到實(shí)現(xiàn)納米級(jí)材料控制的超原子束加工設(shè)備。這些技術(shù)成果，不僅展現(xiàn)了青禾晶元在半導(dǎo)體鍵合領(lǐng)域的深厚積累，更彰顯了中國(guó)企業(yè)突破技術(shù)封鎖的硬核實(shí)力。

青禾晶元的崛起，預(yù)示著半導(dǎo)體鍵合技術(shù)領(lǐng)域即將迎來一個(gè)由中國(guó)技術(shù)驅(qū)動(dòng)的新時(shí)代。通過技術(shù)創(chuàng)新、生態(tài)共建和長(zhǎng)期投入，青禾晶元正在逐步實(shí)現(xiàn)其成為全球半導(dǎo)體異質(zhì)集成領(lǐng)域引領(lǐng)者的宏偉愿景。

中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正站在一個(gè)重要的歷史節(jié)點(diǎn)上，而青禾晶元無疑是推動(dòng)這一產(chǎn)業(yè)邁向更高水平的關(guān)鍵力量之一。