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中科院半導(dǎo)體所

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介紹離子注入在電容極板和濕法腐蝕自停止技術(shù)上的應(yīng)用

在MEMS電容式壓力傳感器、平面硅電容器和RF MEMS開關(guān)中,離子注入均有應(yīng)用。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 02-23 10:47 ?1419次閱讀
介紹離子注入在電容極板和濕法腐蝕自停止技術(shù)上的應(yīng)用

什么是離子注入?離子注入的應(yīng)用介紹

離子注入是將高能離子注入半導(dǎo)體襯底的晶格中來(lái)改變襯底材料的電學(xué)性能的摻雜工藝。通過注入能量、角度和劑....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 02-21 10:23 ?6465次閱讀
什么是離子注入?離子注入的應(yīng)用介紹

一文解析離子注入的溝道效應(yīng)

什么是溝道效應(yīng)? 溝道效應(yīng)是指在晶體材料中,注入的離子沿著晶體原子排列較為稀疏的方向穿透得比預(yù)期更....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 02-21 10:19 ?5280次閱讀
一文解析離子注入的溝道效應(yīng)

化學(xué)機(jī)械研磨拋光CMP技術(shù)詳解

本文介紹了半導(dǎo)體研磨方法中的化學(xué)機(jī)械研磨拋光CMP技術(shù)。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 02-21 10:11 ?3696次閱讀
化學(xué)機(jī)械研磨拋光CMP技術(shù)詳解

功能密度定律是否能替代摩爾定律?摩爾定律和功能密度定律比較

眾所周知,隨著IC工藝的特征尺寸向5nm、3nm邁進(jìn),摩爾定律已經(jīng)要走到盡頭了,那么,有什么定律能接....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 02-21 09:46 ?1328次閱讀
功能密度定律是否能替代摩爾定律?摩爾定律和功能密度定律比較

光頻梳在WDM波分復(fù)用中的作用以及優(yōu)勢(shì)

我們知道,自上個(gè)世紀(jì)90年代以來(lái),WDM波分復(fù)用技術(shù)已被用于數(shù)百甚至數(shù)千公里的長(zhǎng)距離光纖鏈路。對(duì)大多....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 02-21 09:34 ?1535次閱讀
光頻梳在WDM波分復(fù)用中的作用以及優(yōu)勢(shì)

離子注入中的劑量和濃度之間有何關(guān)系呢?

對(duì)器件設(shè)計(jì)工程師來(lái)講,離子注入的濃度往往是需要關(guān)心的參數(shù),什么樣的濃度對(duì)應(yīng)什么樣的方阻,器件仿真參數(shù)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-26 13:37 ?4432次閱讀
離子注入中的劑量和濃度之間有何關(guān)系呢?

什么是刻蝕呢?干法刻蝕與濕法刻蝕又有何區(qū)別和聯(lián)系呢?

在半導(dǎo)體加工工藝中,常聽到的兩個(gè)詞就是光刻(Lithography)和刻蝕(Etching),它們像....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-26 10:01 ?4241次閱讀
什么是刻蝕呢?干法刻蝕與濕法刻蝕又有何區(qū)別和聯(lián)系呢?

介紹晶圓減薄的原因、尺寸以及4種減薄方法

在封裝前,通常要減薄晶圓,減薄晶圓主要有四種主要方法:機(jī)械磨削、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法蝕刻和等離子體干法....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-26 09:59 ?6191次閱讀
介紹晶圓減薄的原因、尺寸以及4種減薄方法

為什么單顆裸芯會(huì)被稱為die呢?

Wafer、die、chip是半導(dǎo)體領(lǐng)域常見的術(shù)語(yǔ),但是為什么單顆裸芯會(huì)被稱為die呢?
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-24 09:14 ?4653次閱讀
為什么單顆裸芯會(huì)被稱為die呢?

一文詳解MEMS高溫壓力傳感器

高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)、航空航天等領(lǐng)域,用來(lái)監(jiān)測(cè)航空發(fā)動(dòng)機(jī)、重型燃?xì)廨啓C(jī)、燃煤燃?xì)忮仩t等動(dòng)力設(shè)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-23 18:10 ?5919次閱讀
一文詳解MEMS高溫壓力傳感器

介紹一種新的可以約束光的納米級(jí)領(lǐng)結(jié)結(jié)構(gòu)

結(jié)合自下而上和自上而下兩種方法,利用兩種表面力,制備出可以用來(lái)約束光的、原子級(jí)尺度的領(lǐng)結(jié)型間隙,在電....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-23 10:26 ?750次閱讀
介紹一種新的可以約束光的納米級(jí)領(lǐng)結(jié)結(jié)構(gòu)

原子陣列實(shí)現(xiàn)容錯(cuò)通用量子計(jì)算的前景和挑戰(zhàn)

原子陣列量子計(jì)算由以下三個(gè)核心要素組成(圖1):(1)利用原子內(nèi)態(tài)編碼量子比特。在使用堿金屬原子的陣....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-22 11:29 ?1463次閱讀
原子陣列實(shí)現(xiàn)容錯(cuò)通用量子計(jì)算的前景和挑戰(zhàn)

請(qǐng)問丙酮在芯片制造中有什么作用呢?丙酮怎樣防護(hù)?

丙酮在半導(dǎo)體制造中發(fā)揮關(guān)鍵作用,是不可或缺的清洗劑。它憑借出色的溶解能力和揮發(fā)性,助力芯片制造流程的....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-22 10:06 ?2199次閱讀
請(qǐng)問丙酮在芯片制造中有什么作用呢?丙酮怎樣防護(hù)?

硅的形態(tài)與沉積方式

優(yōu)化硅的形態(tài)與沉積方式是半導(dǎo)體和MEMS工藝的關(guān)鍵,LPCVD和APCVD為常見的硅沉積技術(shù)。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-22 09:32 ?4738次閱讀
硅的形態(tài)與沉積方式

如何提高半導(dǎo)體測(cè)量的精度和效率

在追求高精度測(cè)量的時(shí)代,光學(xué)系統(tǒng)的像差校正顯得至關(guān)重要。通過理論分析、基于奇異值分解的像差校正和暗場(chǎng)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-20 10:53 ?1548次閱讀
如何提高半導(dǎo)體測(cè)量的精度和效率

半導(dǎo)體襯底材料的選擇

電子科技領(lǐng)域中,半導(dǎo)體襯底作為基礎(chǔ)材料,承載著整個(gè)電路的運(yùn)行。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)半導(dǎo)體襯底材料的....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-20 10:49 ?2502次閱讀

干法刻蝕常用設(shè)備的原理及結(jié)構(gòu)

干法刻蝕技術(shù)是一種在大氣或真空條件下進(jìn)行的刻蝕過程,通常使用氣體中的離子或化學(xué)物質(zhì)來(lái)去除材料表面的部....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-20 10:24 ?11768次閱讀
干法刻蝕常用設(shè)備的原理及結(jié)構(gòu)

了解衍射的來(lái)源和含義

本文從來(lái)源和含義以及計(jì)算光刻方面講了衍射的來(lái)源。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-19 10:59 ?2577次閱讀
了解衍射的來(lái)源和含義

為什么芯片工藝要借鑒“望聞問切”?

有朋友看到這個(gè)題目很疑惑,“望聞問切”不是醫(yī)學(xué)術(shù)語(yǔ)嗎?和芯片工藝有什么聯(lián)系嗎??jī)蓚€(gè)風(fēng)馬牛不相及的行業(yè)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-18 11:10 ?829次閱讀
為什么芯片工藝要借鑒“望聞問切”?

硅基異質(zhì)集成工藝的簡(jiǎn)介

本文介紹了光電集成芯片的最新研究突破,解讀了工業(yè)界該領(lǐng)域的發(fā)展現(xiàn)狀,包括數(shù)據(jù)中心互連的硅基光收發(fā)器的....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-18 11:03 ?1672次閱讀
硅基異質(zhì)集成工藝的簡(jiǎn)介

在半導(dǎo)體里面表示壓強(qiáng)的單位分別有哪些,有什么區(qū)別呢?

在實(shí)際的應(yīng)用中,我們所說(shuō)的壓力常常指壓強(qiáng),壓力傳感器實(shí)際測(cè)的是壓強(qiáng),真空壓力指的也是壓強(qiáng)。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-18 09:59 ?2268次閱讀
在半導(dǎo)體里面表示壓強(qiáng)的單位分別有哪些,有什么區(qū)別呢?

研究人員設(shè)計(jì)出一款脈沖型人工視覺芯片

人工視覺芯片是一種感算一體化的圖像傳感器,能夠單芯片完成圖像獲取和原位實(shí)時(shí)智能圖像處理等任務(wù),是一種....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-17 09:17 ?1327次閱讀
研究人員設(shè)計(jì)出一款脈沖型人工視覺芯片

激光測(cè)溫之干涉測(cè)溫技術(shù)知識(shí)簡(jiǎn)析

干涉測(cè)溫技術(shù)是幾種主要的激光測(cè)溫方法之一。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-16 09:30 ?2608次閱讀
激光測(cè)溫之干涉測(cè)溫技術(shù)知識(shí)簡(jiǎn)析

分子束外延(MBE)工藝及設(shè)備原理介紹

分子束外延(Molecular beam epitaxy,MBE)是一種在超高真空狀態(tài)下,進(jìn)行材料外....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-15 18:12 ?8254次閱讀
分子束外延(MBE)工藝及設(shè)備原理介紹

增強(qiáng)光聲雙光梳光譜的研究進(jìn)展

近二十年來(lái),光學(xué)頻率梳(光頻梳)光譜已經(jīng)發(fā)展成為精密光譜和計(jì)量學(xué)、光譜激光雷達(dá)、環(huán)境監(jiān)測(cè)以及高光譜全....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-15 10:12 ?1540次閱讀
增強(qiáng)光聲雙光梳光譜的研究進(jìn)展

半導(dǎo)體工藝的發(fā)展史

半導(dǎo)體工藝是當(dāng)今世界中不可或缺的一項(xiàng)技術(shù),它影響著我們生活的各個(gè)方面。它的重要性源于其能夠制造出微小....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-15 09:55 ?1842次閱讀

激光測(cè)溫法概述

為了確定溫度,用一個(gè)光束(通常是激光)照射待測(cè)物,測(cè)量一個(gè)或多個(gè)參數(shù):固定波長(zhǎng)的反射和或透射系數(shù)、反....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-14 14:22 ?3921次閱讀
激光測(cè)溫法概述

為什么深硅刻蝕中C4F8能起到鈍化作用?

對(duì)DRIE刻蝕,是基于氟基氣體的高深寬比硅刻蝕技術(shù)。與RIE刻蝕原理相同,利用硅的各向異性,通過化學(xué)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-14 14:11 ?4160次閱讀
為什么深硅刻蝕中C4F8能起到鈍化作用?

一文了解碳化硅(SiC)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及生長(zhǎng)技術(shù)

SiC 是一種二元化合物,其中 Si-Si 鍵原子間距為3.89 ?,這個(gè)間距如何理解呢?目前市面上....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 01-14 14:09 ?20141次閱讀
一文了解碳化硅(SiC)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及生長(zhǎng)技術(shù)