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中科院半導(dǎo)體所

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刻蝕工藝的參數(shù)有哪些

本文介紹了刻蝕工藝參數(shù)有哪些。 刻蝕是芯片制造中一個(gè)至關(guān)重要的步驟,用于在硅片上形成微小的電路結(jié)構(gòu)。....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-05 16:03 ?1413次閱讀
刻蝕工藝的參數(shù)有哪些

第三代寬禁帶半導(dǎo)體:碳化硅和氮化鎵介紹

? 第三代寬禁帶功率半導(dǎo)體在高溫、高頻、高耐壓等方面的優(yōu)勢(shì),且它們?cè)陔娏﹄娮酉到y(tǒng)和電動(dòng)汽車等領(lǐng)域中有....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-05 09:37 ?1025次閱讀
第三代寬禁帶半導(dǎo)體:碳化硅和氮化鎵介紹

激光導(dǎo)熱儀設(shè)備原理

本文介紹激光導(dǎo)熱儀 微納電子器件和光電器件向著模塊化、集成化、高頻化及小型化的方向不斷邁進(jìn),使其單位....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-04 14:00 ?656次閱讀
激光導(dǎo)熱儀設(shè)備原理

聲光調(diào)制原理說(shuō)明

本文介紹聲光調(diào)制 聲光是研究聲音如何改變這種介質(zhì)對(duì)光的影響,如圖所示。許多有用的光子器件利用聲音控制....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-04 13:58 ?1085次閱讀
聲光調(diào)制原理說(shuō)明

填充片的定義及作用

本文介紹填充片的定義及作用 一、Dummy Wafer 的定義與作用 Dummy Wafer,中文稱....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-04 13:56 ?619次閱讀

從平面晶體管到FinFET的演變

在90納米制程之前,每一代集成電路技術(shù)節(jié)點(diǎn)的縮放不僅帶來(lái)了更高的器件密度,還提升了器件性能。然而,當(dāng)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-04 11:04 ?832次閱讀
從平面晶體管到FinFET的演變

模塊封裝的關(guān)鍵工藝

區(qū)別于分立器件模塊的制造有一些特別的關(guān)鍵工藝技術(shù),如銀燒結(jié)、粗銅線鍵合、端子焊接等。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-04 11:01 ?561次閱讀
模塊封裝的關(guān)鍵工藝

多芯片封裝的基本概念和關(guān)鍵技術(shù)

本文簡(jiǎn)單介紹了多芯片封裝的概念、技術(shù)、工藝以及未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-04 10:59 ?1203次閱讀
多芯片封裝的基本概念和關(guān)鍵技術(shù)

干法刻蝕側(cè)壁彎曲的原因及解決方法

本文介紹了干法刻蝕側(cè)壁彎曲的原因及解決方法。 什么是側(cè)壁彎曲? 如上圖,是典型的干法刻蝕時(shí),側(cè)壁彎曲....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-03 11:00 ?704次閱讀
干法刻蝕側(cè)壁彎曲的原因及解決方法

晶圓表面溫度對(duì)干法刻蝕的影響

本文介紹晶圓表面溫度對(duì)干法刻蝕的影響 表面溫度對(duì)干法刻蝕的影響主要包括:聚合物沉積,選擇性,光刻膠流....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-03 10:48 ?963次閱讀
晶圓表面溫度對(duì)干法刻蝕的影響

鍵合絲焊接質(zhì)量控制說(shuō)明

本文重點(diǎn)圍繞焊點(diǎn)機(jī)械性能指標(biāo)的測(cè)試方法和判定標(biāo)準(zhǔn),介紹了焊點(diǎn)測(cè)試、過(guò)程能力指數(shù)以及焊接不良的分析。 ....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-03 09:29 ?504次閱讀
鍵合絲焊接質(zhì)量控制說(shuō)明

功率模塊封裝工藝有哪些

本文介紹了有哪些功率模塊封裝工藝。 功率模塊封裝工藝 典型的功率模塊封裝工藝在市場(chǎng)上主要分為三種形式....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-02 10:38 ?836次閱讀
功率模塊封裝工藝有哪些

電光效應(yīng)之普克爾效應(yīng)和克爾效應(yīng)

本文介紹了電光效應(yīng)之普克爾效應(yīng)和克爾效應(yīng)。 電光是光子學(xué)的一個(gè)分支,研究光束的調(diào)制、切換、偏轉(zhuǎn)、掃描....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-02 10:27 ?944次閱讀
電光效應(yīng)之普克爾效應(yīng)和克爾效應(yīng)

SiO2薄膜的刻蝕機(jī)理

本文介紹了SiO2薄膜的刻蝕機(jī)理。 干法刻蝕SiO2的化學(xué)方程式怎么寫?刻蝕的過(guò)程是怎么樣的?干法刻....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-02 10:20 ?1087次閱讀
SiO2薄膜的刻蝕機(jī)理

干法刻蝕工藝的不同參數(shù)

? ? ? 本文介紹了干法刻蝕工藝的不同參數(shù)。 干法刻蝕中可以調(diào)節(jié)的工藝參數(shù)有哪些?各有什么作用? ....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 12-02 09:56 ?1341次閱讀

晶圓制造生產(chǎn)周期時(shí)間的概念及意義

本文介紹生產(chǎn)周期時(shí)間的概念以及其意義。 生產(chǎn)周期時(shí)間的概念 生產(chǎn)周期時(shí)間是指從生產(chǎn)原料(如硅片)進(jìn)入....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-28 11:16 ?874次閱讀

常見(jiàn)的表面測(cè)量方法簡(jiǎn)介

可實(shí)現(xiàn)更小晶體管的下一代技術(shù)是高數(shù)值孔徑EUV光刻。 眼睛是心靈的窗戶,人腦接收到的信息80%都是來(lái)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-28 10:53 ?628次閱讀
常見(jiàn)的表面測(cè)量方法簡(jiǎn)介

一文看懂光刻技術(shù)的演進(jìn)

光刻機(jī)的分辨率受光源波長(zhǎng)(λ)、工藝因子(k1)和數(shù)值孔徑(NA)三個(gè)主要參數(shù)的影響。根據(jù)瑞利第一公....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-28 09:58 ?1504次閱讀
一文看懂光刻技術(shù)的演進(jìn)

激光束能投射陰影,科學(xué)家顛覆傳統(tǒng)認(rèn)知

??? 光及其與物質(zhì)的各種相互作用的研究,幾個(gè)世紀(jì)以來(lái)一直是科學(xué)探究的基石。從早期對(duì)反射和折射現(xiàn)象的....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-28 09:09 ?447次閱讀

第三代半導(dǎo)體氮化鎵(GaN)基礎(chǔ)知識(shí)

第三代半導(dǎo)體氮化鎵(GaN)。它以其卓越的性能和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,在科技界掀起了一陣熱潮。 ? 今天我....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-27 16:06 ?1313次閱讀
第三代半導(dǎo)體氮化鎵(GaN)基礎(chǔ)知識(shí)

一種名為MARORA的等離子體選擇氧化裝置

??? 隨著半導(dǎo)體器件的精細(xì)化,晶體管柵極的尺寸逐漸縮小或微小結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜。蝕刻過(guò)程中,蝕刻損傷會(huì)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-27 15:59 ?632次閱讀
一種名為MARORA的等離子體選擇氧化裝置

硅晶棒產(chǎn)率提升措施

??? 主要回答以下兩個(gè)問(wèn)題:加大硅芯直徑對(duì)產(chǎn)率有什么影響?加大硅棒的最終直徑對(duì)產(chǎn)率有什么影響???....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-27 10:56 ?402次閱讀
硅晶棒產(chǎn)率提升措施

隧穿晶體管的原理及優(yōu)勢(shì)

本文介紹了隧穿晶體管的原理及它的優(yōu)勢(shì)。 ? 我們所處的這個(gè)由永遠(yuǎn)在線的個(gè)人電腦、平板電腦和智能手機(jī)構(gòu)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-27 09:04 ?870次閱讀
隧穿晶體管的原理及優(yōu)勢(shì)

等離子清洗技術(shù)原理??、分類???、特點(diǎn)、應(yīng)用及發(fā)展趨勢(shì)

??? 等離子清洗技術(shù)是一種新型的表面處理技術(shù),它通過(guò)利用等離子體中的活性粒子與材料表面的化學(xué)反應(yīng),....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-26 11:42 ?1120次閱讀

晶圓/晶粒/芯片之間的區(qū)別和聯(lián)系

本文主要介紹??????晶圓 (wafer)/晶粒 (die)/芯片 (chip)之間的區(qū)別和聯(lián)系。....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-26 11:37 ?1390次閱讀

透射電鏡(TEM)樣品制備方法

透射電子顯微鏡(TEM)是研究材料微觀結(jié)構(gòu)的重要工具,其樣品制備是關(guān)鍵步驟,本節(jié)旨在解讀TEM樣品的....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-26 11:35 ?1648次閱讀
透射電鏡(TEM)樣品制備方法

顯微鏡在芯片失效分析中的具體應(yīng)用場(chǎng)景及前景

??? 在芯片這個(gè)微觀且精密的領(lǐng)域,失效分析猶如一場(chǎng)探秘之旅,旨在揭開(kāi)芯片出現(xiàn)故障背后的秘密。而顯微....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-26 11:32 ?728次閱讀

如何測(cè)量晶圓表面金屬離子的濃度

??? 本文主要介紹如何測(cè)量晶圓表面金屬離子的濃度。??? 金屬離子濃度為什么要嚴(yán)格控制????? ....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-26 10:58 ?470次閱讀
如何測(cè)量晶圓表面金屬離子的濃度

塑封、切筋打彎及封裝散熱工藝設(shè)計(jì)

本文介紹塑封及切筋打彎工藝設(shè)計(jì)重點(diǎn),除此之外,封裝散熱設(shè)計(jì)是確保功率器件穩(wěn)定運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命的重要....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-26 10:46 ?992次閱讀
塑封、切筋打彎及封裝散熱工藝設(shè)計(jì)

光學(xué)線型編碼器中的成像掃描、干涉掃描及全息型原理

? 本文介紹了光學(xué)線型編碼器中涉及到的成像掃描原理、干涉掃描原理以及全息型原理。 一、成像掃描原理 ....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 11-26 09:57 ?795次閱讀
光學(xué)線型編碼器中的成像掃描、干涉掃描及全息型原理