電子發(fā)燒友網(wǎng)訊：光刻設(shè)備廠商ASML Holding NV的CEO Eric Meurice 宣稱該公司已經(jīng)投入到下一代元紫外線光刻技術(shù)（EUV）設(shè)備的研發(fā)中，同時(shí)保證其生產(chǎn)能力能夠達(dá)到客戶的需求。

　　大部分廠家認(rèn)為EUV光刻是實(shí)現(xiàn)微型化電路的必備技術(shù)，這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)研發(fā)了差不多十年，但目前仍然被其低功率光源困擾。

　　Meurice在一個(gè)討論公司第二季度的財(cái)報(bào)的財(cái)務(wù)分析的會(huì)議上提到，他們會(huì)提供更多EUV的信息，以便公司更深入了解其將推出的商用EUV設(shè)備NXE:300。這是頭11部相關(guān)工藝開發(fā)的設(shè)備，能夠處理300mm直徑的晶圓。

　　但短期內(nèi)ASML對(duì)生產(chǎn)能力進(jìn)行太多的承諾，Meurice聲稱到年底的時(shí)候，每個(gè)小時(shí)加工的晶圓或許只有70片，但目前已經(jīng)有規(guī)劃，到2014年每小時(shí)的盛長亮可以達(dá)到70片，而到2016，這個(gè)數(shù)字會(huì)上升到125。當(dāng)客戶需要450mm的加工設(shè)備時(shí)，可以增加10%的價(jià)格，從而由ASML獲得相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品，Meurice強(qiáng)調(diào)。

　　Meurice繼續(xù)說到ASML總共有11臺(tái)NXE:3300提供訂購，但目前來說這些設(shè)備在2013年前都未能夠交付給客戶。他繼續(xù)說到首臺(tái)設(shè)備會(huì)在十月或十一月在ASML組裝完成。

　　2013年推出的 NXE:3300系統(tǒng)只能用來發(fā)展制作工藝技術(shù)，但給ASML在當(dāng)年帶來大概8億歐元的收益。

　　Meurice說道，為EUV所尋找的適合光源已經(jīng)在鑒定一段時(shí)間了，同時(shí)供應(yīng)商已經(jīng)多次證明50瓦特光源和概念上是105瓦特的光源已經(jīng)在實(shí)驗(yàn)室試驗(yàn)中得到確認(rèn)。他繼續(xù)強(qiáng)調(diào)，到2014年這些會(huì)給平臺(tái)帶來每小時(shí)70片晶圓的產(chǎn)能，而兩年后這個(gè)數(shù)字就會(huì)上升到125。

　　NXE:3300在原地的實(shí)驗(yàn)必須確認(rèn)這點(diǎn)，同時(shí)Meurice聲稱公司到下一個(gè)夏天會(huì)確認(rèn)這些發(fā)展路線。

　　這種發(fā)展的觀點(diǎn)使我們得到了顧客的認(rèn)可，從而購買了四臺(tái)額外的NEE:3300系統(tǒng)，這樣的話，總共就有15臺(tái)設(shè)備在準(zhǔn)備，到2014年，它們將會(huì)是首批能夠工作在EUV的半導(dǎo)體設(shè)備。

　　ASML的高管繼續(xù)確認(rèn)額外的四臺(tái)NXE：3300設(shè)備是被一家DRAM廠家預(yù)定，同時(shí)他們正在和另外的DRAM廠家洽談，以賣出更多的設(shè)備，這些都會(huì)在2014年交付。與此同時(shí)，他們正與一個(gè)邏輯方面的公司洽談更多的設(shè)備提供，這估計(jì)會(huì)在2015年移交。Meurice聲稱，他們正在籌劃14/12/11nm節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)品，因?yàn)闊o論在任何地方，14/12/11mm的產(chǎn)品都會(huì)被當(dāng)做同一類型的工藝。

　　當(dāng)被問到NEX:3300的最初產(chǎn)能是多少的時(shí)候，Meurice解析道頭11部機(jī)器并沒有行相關(guān)的規(guī)定。但以后的設(shè)備會(huì)有一個(gè)固定的限制，

　　我們能看到的最小差能是每小時(shí)30片，如果我們?cè)诘谝徊綑C(jī)器面前碰到問題，例如耗費(fèi)更多工作去穩(wěn)固控制機(jī)構(gòu)，這通常會(huì)花費(fèi)兩三個(gè)月甚至半年的時(shí)間，這樣的話我們?cè)趺慈ヒ笊a(chǎn)能力從30片每小時(shí)發(fā)展到70。