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中科院半導(dǎo)體所

文章:1350 被閱讀:393.9w 粉絲數(shù):254 關(guān)注數(shù):0 點(diǎn)贊數(shù):41

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淺談半導(dǎo)體薄膜制備方法

本文簡(jiǎn)單介紹一下半導(dǎo)體鍍膜的相關(guān)知識(shí),基礎(chǔ)的薄膜制備方法包含熱蒸發(fā)和濺射法兩類。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-26 14:03 ?344次閱讀
淺談半導(dǎo)體薄膜制備方法

簡(jiǎn)單認(rèn)識(shí)表面微機(jī)械加工技術(shù)

相比傳統(tǒng)體加工技術(shù),表面微機(jī)械加工通過(guò)“犧牲層腐蝕”工藝,可構(gòu)建更復(fù)雜的三維微結(jié)構(gòu),顯著擴(kuò)展設(shè)計(jì)空間....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-26 14:01 ?176次閱讀
簡(jiǎn)單認(rèn)識(shí)表面微機(jī)械加工技術(shù)

體硅FinFET和SOI FinFET的差異

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,晶體管結(jié)構(gòu)的選擇如同建筑中的地基設(shè)計(jì),直接決定了芯片的性能上限與能效邊界。當(dāng)制程節(jié)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-25 16:49 ?710次閱讀
體硅FinFET和SOI FinFET的差異

基帶電路的作用和組成部分

“基帶”這個(gè)詞,最早來(lái)源于通信理論,意思是未經(jīng)調(diào)制的原始信號(hào)。比如你打電話時(shí)說(shuō)話的聲音、視頻通話中的....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-25 15:37 ?402次閱讀

無(wú)線通信系統(tǒng)中射頻電路的重要作用

射頻電路是處理高頻信號(hào)的電路,在無(wú)線通信系統(tǒng)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它們負(fù)責(zé)接收、發(fā)射和處理射頻信號(hào)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-20 16:13 ?397次閱讀
無(wú)線通信系統(tǒng)中射頻電路的重要作用

掃描電鏡在微納加工中的應(yīng)用

本文是A. N. BROERS關(guān)于掃描電鏡在微納加工中應(yīng)用的研究回顧,重點(diǎn)記錄了他從1960年代開(kāi)始....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-20 16:11 ?228次閱讀
掃描電鏡在微納加工中的應(yīng)用

硅熔融鍵合工藝概述

硅片鍵合作為微機(jī)械加工領(lǐng)域的核心技術(shù),其工藝分類與應(yīng)用場(chǎng)景的精準(zhǔn)解析對(duì)行業(yè)實(shí)踐具有重要指導(dǎo)意義。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-20 16:09 ?255次閱讀
硅熔融鍵合工藝概述

原位透射電鏡在半導(dǎo)體中的應(yīng)用

傳統(tǒng)的透射電鏡(TEM)技術(shù)往往只能提供材料在靜態(tài)條件下的結(jié)構(gòu)信息,無(wú)法滿足科研人員對(duì)材料在實(shí)際應(yīng)用....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-19 16:28 ?258次閱讀

MEMS制造領(lǐng)域中光刻O(píng)verlay的概念

在 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))制造領(lǐng)域,光刻工藝是決定版圖中的圖案能否精確 “印刷” 到硅片上的核心環(huán)節(jié)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-18 11:30 ?366次閱讀
MEMS制造領(lǐng)域中光刻O(píng)verlay的概念

如何使用直角棱鏡轉(zhuǎn)折光束

光學(xué)直角棱鏡是一種常見(jiàn)的光學(xué)元件,它能夠?qū)⒐饩€的傳播方向精確地偏轉(zhuǎn)90度。這種功能看似簡(jiǎn)單,卻在許多....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-17 16:20 ?322次閱讀
如何使用直角棱鏡轉(zhuǎn)折光束

離子束的傳輸與信號(hào)探測(cè)

聚焦離子束(FIB)在材料科學(xué)和微納加工領(lǐng)域內(nèi)的重要性日益顯現(xiàn),離子束的傳輸過(guò)程由多個(gè)關(guān)鍵組件構(gòu)成,....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-17 15:47 ?231次閱讀
離子束的傳輸與信號(hào)探測(cè)

分子束外延技術(shù)的原理及制備過(guò)程

高質(zhì)量的材料制備是一切器件研究的核心與基礎(chǔ),本篇文章主要講述MBE的原理及制備過(guò)程?
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-17 15:05 ?309次閱讀
分子束外延技術(shù)的原理及制備過(guò)程

一文詳解外延生長(zhǎng)技術(shù)

隨著半導(dǎo)體器件特征尺寸不斷微縮,對(duì)高質(zhì)量薄膜材料的需求愈發(fā)迫切。外延技術(shù)作為一種在半導(dǎo)體工藝制造中常....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-16 11:44 ?984次閱讀
一文詳解外延生長(zhǎng)技術(shù)

逆向阱技術(shù)的精密構(gòu)建

在芯片的硅基世界中,硼離子注入(Boron Implant) 如同納米級(jí)的外科手術(shù)——通過(guò)精準(zhǔn)控制高....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-13 11:43 ?243次閱讀
逆向阱技術(shù)的精密構(gòu)建

一文詳解激光劃片機(jī)

激光劃片機(jī)是利用高能激光束對(duì)晶圓等材料進(jìn)行切割或開(kāi)槽的精密加工設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光學(xué)器....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-13 11:41 ?733次閱讀
一文詳解激光劃片機(jī)

晶圓清洗設(shè)備概述

晶圓經(jīng)切割后,表面常附著大量由聚合物、光致抗蝕劑及蝕刻雜質(zhì)等組成的顆粒物,這些物質(zhì)會(huì)對(duì)后續(xù)工序中芯片....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-13 09:57 ?302次閱讀

芯片制造中解耦等離子體氮化工藝流程

在5納米以下的芯片制程中,晶體管柵極介質(zhì)層的厚度已縮至1納米以下(約5個(gè)原子層)。此時(shí),傳統(tǒng)二氧化硅....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-12 14:11 ?594次閱讀
芯片制造中解耦等離子體氮化工藝流程

芯片塑封工藝過(guò)程解析

所謂塑封,是指將構(gòu)成電子元器件或集成電路的各部件按規(guī)范要求進(jìn)行合理布置、組裝與連接,并通過(guò)隔離技術(shù)使....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-12 14:09 ?976次閱讀
芯片塑封工藝過(guò)程解析

主流氧化工藝方法詳解

在集成電路制造工藝中,氧化工藝也是很關(guān)鍵的一環(huán)。通過(guò)在硅晶圓表面形成二氧化硅(SiO?)薄膜,不僅可....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-12 10:23 ?727次閱讀
主流氧化工藝方法詳解

晶圓揀選測(cè)試類型

硅晶圓揀選測(cè)試作為半導(dǎo)體制造流程中的關(guān)鍵質(zhì)量控制環(huán)節(jié),旨在通過(guò)系統(tǒng)性電氣檢測(cè)篩選出功能異常的芯片。該....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-11 09:49 ?642次閱讀
晶圓揀選測(cè)試類型

引線框架對(duì)半導(dǎo)體器件的影響

引線框架(Lead Frame)是一種金屬結(jié)構(gòu),主要用于半導(dǎo)體芯片的封裝中,作用就像橋梁——它連接芯....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-09 14:55 ?611次閱讀

功率器件電鍍的原理和步驟

在功率半導(dǎo)體制程里,電鍍扮演著舉足輕重的角色,從芯片前端制程到后端封裝,均離不開(kāi)這一關(guān)鍵工序。目前,....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-09 14:52 ?1067次閱讀
功率器件電鍍的原理和步驟

半導(dǎo)體制造中的高溫氧化工藝介紹

ISSG(In-Situ Steam Generation,原位水蒸汽生成)是半導(dǎo)體制造中的一種高溫....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-07 09:23 ?731次閱讀
半導(dǎo)體制造中的高溫氧化工藝介紹

晶片機(jī)械切割設(shè)備的原理和發(fā)展

通過(guò)單晶生長(zhǎng)工藝獲得的單晶硅錠,因硅材質(zhì)硬脆特性,無(wú)法直接用于半導(dǎo)體芯片制造,需經(jīng)過(guò)機(jī)械加工、化學(xué)處....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-06 14:10 ?221次閱讀
晶片機(jī)械切割設(shè)備的原理和發(fā)展

晶體結(jié)構(gòu)中晶面和晶向的關(guān)系

晶面和晶向是晶體學(xué)中兩個(gè)核心的概念,它們與硅基集成電路工藝中的晶體結(jié)構(gòu)有密切的關(guān)系。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-05 16:58 ?697次閱讀
晶體結(jié)構(gòu)中晶面和晶向的關(guān)系

什么是晶圓級(jí)扇出封裝技術(shù)

晶圓級(jí)扇出封裝(FO-WLP)通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂模塑料(EMC)擴(kuò)展芯片有效面積,突破了扇入型封裝的I/O....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-05 16:25 ?934次閱讀
什么是晶圓級(jí)扇出封裝技術(shù)

射頻前端模塊中使用的集成無(wú)源元件技術(shù)

本文介紹了在射頻前端模塊(RF-FEM)中使用的集成無(wú)源元件(IPD)技術(shù)。
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-03 18:26 ?467次閱讀
射頻前端模塊中使用的集成無(wú)源元件技術(shù)

芯片封裝中的打線鍵合介紹

打線鍵合就是將芯片上的電信號(hào)從芯片內(nèi)部“引出來(lái)”的關(guān)鍵步驟。我們要用極細(xì)的金屬線(多為金線、鋁線或銅....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-03 18:25 ?539次閱讀

鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管的原理和優(yōu)勢(shì)

自半導(dǎo)體晶體管問(wèn)世以來(lái),集成電路技術(shù)便在摩爾定律的指引下迅猛發(fā)展。摩爾定律預(yù)言,單位面積上的晶體管數(shù)....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-03 18:24 ?496次閱讀
鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管的原理和優(yōu)勢(shì)

什么是晶圓級(jí)扇入封裝技術(shù)

在微電子行業(yè)飛速發(fā)展的背景下,封裝技術(shù)已成為連接芯片創(chuàng)新與系統(tǒng)應(yīng)用的核心紐帶。其核心價(jià)值不僅體現(xiàn)于物....
的頭像 中科院半導(dǎo)體所 發(fā)表于 06-03 18:22 ?400次閱讀
什么是晶圓級(jí)扇入封裝技術(shù)